普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用于獲得高真空。 吸附或吸收技術(shù)可以在任何壓力下使用，但是由于實(shí)際的限制，它只是作為真空技術(shù)中的一種特殊應(yīng)用而開發(fā)的。

  為了消除由油封機(jī)械橡膠葉輪產(chǎn)生的碳?xì)浠衔镂廴镜目赡苄裕鹉z葉輪通常用于超高真空系統(tǒng)的粗抽，并且通常與干（無油）機(jī)械橡膠葉輪一起使用。 根據(jù)泵送程序順序使用兩個(gè)或三個(gè)橡膠葉輪，以從真空容器中排出大量空氣。 通過改用離子吸氣型橡膠葉輪泵，可獲得足夠低的壓力而不會造成過載。

  可以通過吸附獲得高真空。 該方法可以是通過升高溫度使吸附的氣體物質(zhì)解吸，然后恢復(fù)到室溫，或者可以將其冷卻至低溫。

  商業(yè)橡膠葉輪通常設(shè)計(jì)為獲得前級真空。 但是，使用具有類似基本結(jié)構(gòu)的橡膠葉輪的多級泵送也可以實(shí)現(xiàn)高真空，但入口電導(dǎo)率更高。

  密封設(shè)備通常在高溫條件下通風(fēng)和密封。 在冷卻期間，吸附部位的數(shù)量足夠大，以提供能夠顯著降低壓力的泵送效果，從而可以將壓力降低一個(gè)或幾個(gè)數(shù)量級。 許多例子表明，當(dāng)溫度變化大時(shí)，在高真空下必須具有吸附作用。